最近幾天，中國科學技術大學網站發布，中國科學技術大學在6G濾鏡領域取得重要進展研究成果是微電子所左教授研究團隊在鈮酸鋰壓電薄膜上設計并實現了Q值超過10萬的高頻 MEMS諧振器與文獻中已有的工作相比，Q值提高了兩個數量級

根據消息顯示，相關成果于5月16日以《15度三維歐拉角下的超高鈮酸鋰諧振器》為題在線發表在電子器件領域知名期刊《IEEE電子器件快報》上。

研究人員提出了一種基于三維歐拉角α在x切單晶鈮酸鋰壓電薄膜上設計制作高頻MEMS諧振器的方法通過設計諧振器的電極結構，激發出工作在6.5 GHz的S1振動模式，當聲波傳播方向為15°時，諧振器在并聯諧振頻率處的品質因數高達131540，對應的諧振器品質因數k2qp和fpqp分別為6300和8.6×1014Hz

1.新型MEMS諧振器的結構設計和性能測試:三維歐拉角的定義:制備的諧振器的SEM照片，15諧振器導納曲線的測試結果

如圖2所示，與近10年來工作在相似頻段的其他諧振器相比，新型MEMS諧振器的Q值提高了兩個數量級，首次突破了諧振頻率與Q值乘積難以同步提高的問題更重要的是，相關工作成功找到了利用三維歐拉角控制鈮酸鋰薄膜介電損耗和聲損耗的新機制，為微納器件在高頻無線通信，醫學超聲成像，智能信息處理，物聯網傳感器等未來應用開辟了更多可能性

圖二近10年來新型MEMS諧振器與其他鈮酸鋰諧振器的Q值比較

鄭重聲明：此文內容為本網站轉載企業宣傳資訊，目的在于傳播更多信息，與本站立場無關。僅供讀者參考，并請自行核實相關內容。