據(jù)臺(tái)灣《經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)》報(bào)道，默克公司今天宣布，將與美光科技合作，開發(fā)一種可降低全球變暖趨勢(shì)的半導(dǎo)體技術(shù)氣體解決方案。

默克表示，經(jīng)過一年的持續(xù)合作，美光科技目前正在測(cè)試默克R&D部門提供的低GWP替代蝕刻氣體，以驗(yàn)證其工藝性能，從而取代傳統(tǒng)的高GWP材料，目標(biāo)是將一種全新的，更可持續(xù)的氣體解決方案引入半導(dǎo)體工藝兩家公司都致力于探索有助于實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展目標(biāo)的新材料，以取代目前在干法蝕刻和掩模清洗工藝中使用的各種具有高升溫潛能的蝕刻氣體

美光科技副總裁約翰·惠特曼表示，為了實(shí)現(xiàn)到2030年將42元全球運(yùn)營產(chǎn)生的碳排放減少%的目標(biāo)，美光科技投資了先進(jìn)的減排系統(tǒng)，優(yōu)先使用全球變暖潛力低的氣體，外包節(jié)能設(shè)備，用化石可再生能源替代能源。

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