據(jù)外媒報(bào)道，光罩對(duì)準(zhǔn)器制造商ASML的首席執(zhí)行官兼總裁彼得·維尼克本周前往韓國參加華成半導(dǎo)體集群的奠基儀式。

據(jù)外媒報(bào)道，Peter Wienicke在韓國期間還透露了他們下一代極紫外光刻機(jī)的消息，也就是很多客戶期待的高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)。

據(jù)外媒報(bào)道，當(dāng)?shù)貢r(shí)間周二，彼得·維尼克在首爾的新聞發(fā)布會(huì)上透露了高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)的消息他透露，將于2024年開始出貨

此外，Peter Wienicke還在會(huì)上透露，從長遠(yuǎn)來看，他們計(jì)劃每年生產(chǎn)20臺(tái)高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)。

根據(jù)ASML此前在財(cái)報(bào)中透露的信息，他們的EXE系列高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)有兩個(gè)型號(hào):TWINSCAN EXE:5000和TWINSCAN EXE:5000前者已經(jīng)獲得了2018年客戶的訂單，而后者也在今年年初獲得了第一筆訂單

雖然Peter Wienicke透露，他們的高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)將于2024年開始出貨，但他們的客戶在安裝和測(cè)試后投入生產(chǎn)還需要一段時(shí)間。

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