拓普康電池基本上是由PERC電池的基礎設施升級而來，兩者的主要區別在于鈍化層的制備在TOPCon中制備鈍化層的幾種技術路線中，主要有LPCVD，PECVD，PVD等其中PECVD方案具有成膜速度快，節能，運行成本相對較低的優勢，是預期差異相對較大的方向我們判斷PECVD路線有望在下半年應用，相關設備公司有望顯著受益

TOPcon和PERC的主要區別在于鈍化層的制備拓普康電池基本上是由PERC電池的基礎設施升級而來，正面看兩者沒有本質區別主要區別在于背面的鈍化接觸技術，即在電池背面制備一層超薄隧穿氧化硅，再沉積一層摻雜多晶硅，形成鈍化接觸結構除了參與鈍化層制備的設備不同，TOPCon和PERC其他環節的設備變化不大

核心進程的多個路線是并行的目前主要有三條技術路線:LPCVD，PECVD，PVD，是拓普康電池制備的核心工藝，即鈍化接觸制備，其中LPCVD相對成熟，PECVD管是主要技術，依靠射頻感應產生的等離子體實現薄膜沉積過程，具有成膜速度快，節能，運行成本相對較低的優點PVD計劃也值得期待

目前，LPCVD是制備鈍化層的主要技術路線，但PECVD預計會更差TOPCon還處于普及的初級階段，所以在隧道氧化層和多晶硅層的制備上有很多選擇LPCVD路線在解決了圓鍍問題后被廣泛使用，但熱壁沉積等問題會增加運維成本PECVD路線目前不如LPCVD路線先進，但潛力很大制備鈍化層的具體工藝取決于各個企業對不同技術路線的掌握程度

相關供應商可以從大量的PECVD路線中顯著受益在晶科能源，駿達股份等公司率先采用LPCVD推進拓普康大規模產業化后，我們判斷PECVD下半年可能會有大規模應用與PECVD相比，目前設備成本約為1.6—1.9億元/GW，其中PECVD設備總投資約為1.6—1.8億元/GW主要區別在于背膜沉積設備價值約為3500—5000萬元/GW，約占全線設備價值的20—30%其他設備的價值與LPCVD路線基本相同預計未來幾年電池設備年市場空間將超過120億元，PECVD路線的放量可能對相關供應商產生重大影響

推薦關注:捷佳威創，海慕星，奧特威/迪爾激光，金晨，京山輕機，Robotec。

風險:拓普康產業化進度不如預期，PECVD技術路線推進不如預期。

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